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激光调阻设备

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紧密激光调阻机设备

紧密激光调阻机设备

产物分类:激光调阻设备

产物申明:定制化:可针对客户产物差别的激光调阻操纵请求,供给具备较高代价的产物处理计划。 •调阻精度高:怪异的测控手艺,丈量节制体系精度的分歧性好,晋升产物附加值;制品率高,单元本钱降落。 •软件可编程:可轻松实现客户的差别须要和高主动化运转,也可作为特地的测试平台,顺应性广。 •操纵本钱低:接纳了最早进的激光器,无耗材,操纵本钱最低,持久操纵节俭大批的用度。 •多功效:可实现陶瓷基片的激光划线、打标,削减设备的再投入。 •专业大理石基座,可有用减小任务台启动、遏制和加快进程中发生的震撼,同时坚持机台温度的不变性,靠得住性高。

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  • 产物先容


紧密激光调阻机设备

本机是针对传感器、紧密电阻、数据收罗卡等须要高精度旌旗灯号输入的器件,特地开辟的激光调阻设备,具备调阻精度高、刻线速率快、机能靠得住、主动化水平高档特色。

激光调阻机也叫做激光镭射切割体系,其任务道理:操纵一束极细的激光束打在电阻上,经由进程对电阻体气化蒸发实现电路的切割。激光束按计较机预约的法式切割电阻,经由进程转变电阻的多少外形从而转变电阻的阻值。跟着激光切割进程的停止,同时及时丈量电路输入、使其电阻的阻值不时靠近方针阻值,当电阻到达方针阻值后激光束封闭,即实现激光调阻进程。

1.紧密激光调阻体系及修调手艺道理

   调阻是把一束聚焦的相干光在微机的节制下定位到工件上,使工件待调局部的膜层气化切除以到达划定参数或阻值。调阻时势部温升使玻璃融化,气化局部阻值槽边缘遭到玻璃笼盖,可填平基体外表被切割的介质。
    进步前辈的激光修调体系操纵了大批的LSI、VLSI电路,以大局部的软件操纵取代很多硬件功效。焦点局部是经由进程硬件间接与激光器、光束定位、分步反复及丈量等体系相毗连。丈量体系由接纳紧密电桥和矩阵组合的无源收集构成。

    激光修调体系具备多种修调功效,能够修调夹杂集成电路、厚薄膜电阻器收集、电容收集、瓷基薄膜集成元件,还能够修调D/A和A/D转换器的精度,V/F转换器的频次,有源滤波器的零点频次及运算缩小器的平衡电压等。同时还具备IEEE488接口,可与其余测试设备停止数据传输。
 2.激光修调体系首要包含以下几个局部: 
 (1)激光器局部
接纳不变的入口激光器,厚膜修调最小光斑达30μm,脉冲反复频次为500Hz~100kHz。
(2)光束定位体系 
分为线性马达式、开环和闭环检流计式等。节制光束在X和Y标的目的的地位、速率和加快度。延长光束定位时候和修调时候,任务效力高。
(3)程控衰减体系
由多个衰减器构成,以节制在衰减后用于光束游动并进入红外相机的输入旌旗灯号。
(4)修调设定器
它间接与激光器、光束定位器、分步反复台及丈量体系相连接。它能够通进法式转变Q频次、刻蚀尺寸和转变切割的修调标的目的,决议阻值变更,而不影响精度。别的,还具备主动校订功效,在持久任务时能够使修调设定值坚持不变。
5)阻值及电压测定装配
接纳紧密电桥和矩阵组合的测试无源收集,阻值丈量精度可达0.01%,丈量时候小于5ms。这类设想能够避免外界搅扰,且因为接纳差动丈量,主动消弭偏离及极性转换,还可用来测定有源电路修调时的直流电压。
(6)主动功率丈量体系
激光器功率丈量是操纵最低限制的间断经由进程丈量来测定。用微机节制螺形管驱动体系,激光束经由进程衰减器内的100%反射镜,射向热电偶器件,而后送到1个大批程功率计。
切割图形
3.激光调阻时,被切割的电阻体图形首要有以下几种:
(1)单刀切割电阻法
(2)双刀切割电阻法
(3)L型刀口切割电阻法
(4)穿插对切电阻法
(5)曲线型L刀口的切法
(6)曲线型U型刀口的切法
在现实任务中,首要操纵的是前4种,对差别的电阻应按照其方数的差别挑选差别的刀口。此中双切和L型刀口最为经常使用,并且调过的阻值不变性好。 

4.经常使用的调阻体例有喷砂、激光和电压脉冲调剂:
喷砂调阻:经由进程放射砂流对电阻基片停止打磨,使电阻浆料层受磨损,从而转变了电阻体的导电截面积和导电长度,而到达必然请求的阻值。是一种惯例的调阻计划。
喷砂调阻机设备价钱较低,但调阻精度不易节制,速率较慢,不易于主动化及批量出产。
激光调阻:经由进程短脉冲激光扫描切割电阻基片,使电阻浆料层受激光加热气化,构成必然深度的刻痕,从而转变了电阻体的导电截面积和导电长度,到达把低于方针阻值的电阻体修调到阻值许可的偏差规模内,合用于片状电阻的疾速大规模出产。
激光调阻机价钱较高,精度易节制,速率较快,且易于主动化及批量出产,且能实现电路的功效调阻,今朝是调阻的支流工艺。 
激光紧密加工在诸如薄膜电路的功效微调、压电石英谐振腔和单层滤波器的微调、光掩膜的批改、具备散布参数的超高频电路的微调、光学度盘和分划板的刻制等产业范畴将获得愈来愈普遍的操纵。 
激光调阻机按照市场请求,设想的BZL-SL12A系列机型,可按照客户电路请求定功效及客户产物设制。 

5.紧密激光调阻体系调阻计划

进步前辈的激光微调体系(激光调阻设备、激光调电阻设备)首要包含以下几个局部: 
(1)激光器局部
接纳入口光纤激光器,厚膜修调最小光斑达38μm,脉冲反复频次为500Hz~100kHz。
(2)光束定位体系 
分为线性马达式、开环和闭环检流计式等。节制光束在X和Y标的目的的地位、速率和加快度。延长光束定位时候和修调时候,任务效力高。
(3)程控衰减体系
由多个衰减器构成,以节制在衰减后用于光束游动并进入红外相机的输入旌旗灯号。
(4)修调设定器
它间接与激光器、光束定位器、分步反复台及丈量体系相连接。它能够通进法式转变Q频次、刻蚀尺寸和转变切割的修调标的目的,决议阻值变更,而不影响精度。别的,还具备主动校订功效,在持久任务时能够使修调设定值坚持不变。
5)阻值及电压测定装配
接纳紧密电桥和矩阵组合的测试无源收集,阻值丈量精度可达0.01%,丈量时候仅为25µs。这类设想能够避免外界搅扰,且因为接纳差动丈量,主动消弭偏离及极性转换,还可用来测定有源电路修调时的直流电压。
(6)主动功率丈量体系
激光器功率丈量是操纵最低限制的间断经由进程丈量来测定。用微机节制螺形管驱动体系,激光束经由进程衰减器内的100%反射镜,射向热电偶器件,而后送到1个大批程功率计。
简略纯真型调阻计划:
6.实现功效:经由进程手动节制控针,对电组停止主动紧密调理
1、激光器及节制体系:入口光纤激光器激光器
2、光学定位体系:XY主动节制
3、阻值丈量及节制体系
4、手动控针
7.规范型调阻计划:
实现功效:经由进程主动节制控针,对批量电组停止主动紧密调理。
1、激光器及节制体系:入口光纤激光器激光器
2、光学定位体系:五维任务体例
3、阻值丈量及节制体系
4、主动控针:主动上、下
5、监控体系:双路300万像素CCD监控
6.在线功效调阻计划:

7.激光调阻机的品种

今朝调阻机按功效可分纯真调阻及功效性调阻两类:
纯真调阻:
对电阻停止调理,调理至某一牢固阻值,实现调阻。这类设备比拟简略。
功效性调阻:
对某一电路中的电阻停止紧密调理,使此电路模块实现响应的功效。此类设备比拟庞杂,且设备与电路请求相顺应


 

首要手艺参数


 

激光体系

型号规格

ZL-TZ001

激光波长

1064nm

激光功率

20W

典范光斑尺寸

35±5µm

对焦体例

主动,计较机法式节制

冷却体例

风冷

激光束定位体系

激光束活动规模

60mm X 60mm

活动分辩率

0.76µm

反复定位精度

±5µm

分步反复活动体系

活动体例

紧密闭环XY平台

活动规模

300mm*300mm

反复定位精度

±10µm

最大活动速率(空载)

180mm/s

丈量体系

电阻丈量体例

四线制丈量或二线制丈量

电阻丈量精度

中阻 ± 0.05%

电阻丈量规模

0.1Ω-100MΩ

丈量速率

25µs/

零点及满程偏差校订

主动校订

探针界说

可编程肆意设定

探针板活动

主动,计较机法式节制

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